1双缸上下控制; 2恒温设计,隔膜周围均匀膨胀; 3加热,拉伸,晶体膨胀,固体膜完成; 4加热温度,膨胀时间,返回速度均匀可调; 5易于操作,单个输出的移位很大。
1.打开电源插头并连接空气管。
检查电源指示灯和气压表是否已连接。
2.打开电源开关并设置晶体膨胀所需的温度(55±5°C)以等待加热。
3.温度达到设定温度后,打开晶体膨胀机上的圆形板,按下下盘向上行程开关,将加热盘抬高到下圆形板的水平位置稍高,并将其放入内圈(光滑的一面)向上)。
4.待扩展的晶片薄膜在芯片上撕开并放置在加热盘上,并且放置晶片的位置尽可能地放置在加热盘的中间。
5,轻轻按压薄膜轻轻加热,薄膜受热收缩,然后按上圆板扣,按下下盘提升行程开关,加热盘上升到晶圆,晶圆将扩大宽度和位置外圈(光滑面朝下)。
6.按上部光盘行程开关按下上部光盘,直到外部环被按到内圈1/2位置。
7.将上盘和下加热盘返回到原始位置,找到上盘以取出扩展的晶片,并用刀片切掉多余的晶片薄膜。
1.在晶体膨胀前打开燃气阀和加热开关,检查气压是否正常,电源是否正常。
2.加热板的温度必须达到设定温度,上升速度应适中,不要太快。
3.放置晶圆薄膜并按压环时,手必须小心,不要被机器按压。
4.不要碰到加热板和上盘上的硬物。
发现机器异常,及时报告机器维修。
一,日常保养项目(1)保养项目:外观保养步骤:1。
首先用白布擦去机器上的灰尘。
2.如果有顽固污渍无法清除,请使用带有少量清洁剂的白布擦拭顽固污渍。
3.用干净的白布擦拭清洁剂所在的位置,以防止清洁和腐蚀。
(2)保养项目:温度保养程序:检查温度是否为55±5°C(3)保养项目:气缸维护程序:检查上升和下降是否灵活。
(4)维护项目:空气管接头维护步骤:检查空气管道是否漏气。
二,每周维护项目(1)维护项目:接地维护步骤:1。
检查接地线是否与外壳接触良好。
2.检查Q检查表是否已接地。
三,每月维护项目(1)恒温器:维护步骤:检查恒温器是否正常。