北京，中国-Media OutReach-2020年12月18日-Advanced Energy Industries，Inc.致力于开发各种先进的高精度功率转换，测量和控制系统以及其他解决方案。

它一直引领着世界。

该公司宣布推出新系列的MAXstreamTM远程等离子源（RPS）产品，该产品具有用于半导体芯片工艺反应室的等离子清洗系统。

MAXstream系列产品具有许多不同的型号，具有很宽的工作范围。

其他优点包括更高的电源精度，比同类产品更好的等离子喷射点火能力以及更高的稳定性，因此这是市场上最理想的选择。

远程等离子体源解决方案。

Advanced Energy Semiconductor Products副总裁兼总经理Peter Gillespie表示：“我们的客户告诉我们，市场上缺少高性能，稳定和可靠的RPS产品。

我们希望Advanced Energy能够进入这一市场并满足行业需求。

顺应潮流，实现自己的梦想。

这一系列全新的MAXstream产品不仅为客户提供了针对客户的过程设备的经济，稳定，可靠的RPS解决方案，还使Advanced Energy能够适应市场趋势并加快其在近几年来这种稀有产品的进入。

出现具有创新技术的RPS市场，但其年销售额约为1.5亿美元1。

到目前为止，该系列产品在市场上已经很受欢迎，这对我们来说是一个很大的鼓励。

我们将在本月继续为多个OEM客户交付产品，预计将继续取得出色的成绩”。

MAXstream远远优于竞争对手的RPS解决方案，因为该新产品的双等离子体源点火核心采用了完整的设计来确保等离子体点火。

同时，它比相同级别的竞争产品更好地保持稳定性。

由于每次单独点火的点火都非常稳定和可靠，因此整个操作可以保持其稳定性并减少机器故障的发生。

MAXstream还充分利用了Advanced Energy的多年使用以及对等离子源材料和相关技术的有效分离，以确保可以延长工艺反应室的生命周期并减少生成的颗粒。

Advanced Energy的MAXstream RPS产品可以轻松插入现有的RPS系统中，以确保与现有系统的无缝连接，并便于更换和更新。

客户只需要取出性能不佳的RPS，然后切换到MAXstream以提高过程设备的生产率，性能和稳定性。

他们还可以获得优于竞争对手的Advanced Energy的全球服务和支持。

Advanced Energy在全球拥有十多个服务中心，为世界各地的客户提供现场服务和应用技术支持。

MAXstream产品系列包括MAXstream 300、600、800、1000和1200以及许多其他不同型号，每分钟的气体流速为3、6、8、10和12升（升），因此客户可以根据自己的选择自己的过程一种模型，其价格与预算一致，可以充分发挥系统的性能。

MAXstream 300适用于低流量过程（用于清洁的气体每分钟可高达3升），并且其外观小于高流量模型。

高级能源远程等离子源总经理Shaun Wilson表示：“几乎在半导体芯片生产中使用的所有等离子工艺都需要清洁反应室。

这次我们推出了MAXstream系列产品，旨在为客户提供用于过程反应室的清洁系统。

功能强大，稳定，可靠且具有成本效益的解决方案。

我们不仅减少了设备的停机时间，而且还帮助半导体公司满足了数据经济圈的市场需求”。

有关产品技术规格的更多信息，您可以登录Energy网站上的Advanced Check MAXstream产品页面。